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扩散炉 返回

  扩散炉 构成:

采用贝加莱PP500系列人机界面,通过POWERLINK对X20 I/O、X20 CPU以及X20安全模块的控制及显示。

  扩散炉 特点:

■ PCC适应于复杂算法设计(温度、压力、气体流量等控制)
■ 多个单元的模块化控制设计-可自由扩展石英管通道
■ 提供更佳的温区控制
■ 环境适应能力的硬件
■ Safety系统功能
■ OPC Server与管理系统互联
■ 独立门锁系统
■ 集成安全系统-保护操作人员安全


 
 
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