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单晶炉控制系统 返回

  单晶炉控制系统 构成:

采用贝加莱人机界面PP500实现对X20CPU和ACOPOSmicro的控制操作。

  单晶炉控制系统 特点:

■ PCC支持算法设计
■ 开环与闭环温区控制,确保高精度温度控制
■ 程序安全
■ 支持工艺配方下载
■ IT-Based远程维护技术(VNC Server,Web Server…)
■ 在线趋势分析与报警
■ 在线质量跟踪与分析,提升产品品质


 
 
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